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芝浦机电:第5代以后低温多晶硅TFT液晶生产线清洗装置
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作者:
apple
时间:
2011-10-31 20:44
标题:
芝浦机电:第5代以后低温多晶硅TFT液晶生产线清洗装置
芝浦机电在FPD International2011”(10月26~28日,太平洋横滨会展中心)上,以展板形式展出了使用氢氟酸(HF)浓度管理单元的低温多晶硅TFT液晶面板晶圆清洗装置。支持第5代以上的大尺寸基板。
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2011-10-31 20:43 上传
在晶圆清洗工艺中,第4.5代以前一直采用旋转式清洗装置。但第5代以后由于玻璃基板越来越难以转动,因此采用了使用喷头的一列式(In-Line)清洗装置。旋转式清洗装置通过旋转使清洗液高效扩散到基板上,而一列式清洗装置无法获得这种效果。因此,改成一列式之后,药液用量骤增,超出了基板尺寸的增大比例。因此,第5代工艺以后越来越多地需要重新利用第4.5代以前已经不再使用的药液。芝浦机电推出了测量再利用时的药液浓度,以过滤杂质和补充药液的HF浓度管理单元。另外,该公司还提出了触摸面板等喷涂装置的新用途。
来源: 技术在线  
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