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标题: 请问扩散后片子是白色的，为什么？ [打印本页]

作者: danwenming 时间: 2009-7-3 19:01
标题: 请问扩散后片子是白色的，为什么？
我们公司是自动加源。不要换源。

作者: danwenming 时间: 2009-7-3 19:03
但是方块电阻有的还是55-56.我们是做156多晶的，电阻在55-60

作者: chenlove1 时间: 2009-7-3 21:34
估计是片子在清洗制绒过后没有甩干，水分比较大，在扩散过程中生成了白色的偏磷酸。同时可以做一下扩散炉的TCA清洗。

作者: 西祠小混混 时间: 2009-7-6 19:45
偏磷酸的可能性比较大，片子中伴随发蓝吗？发蓝的话肯定是有水在片子上面了。

作者: fhdbest 时间: 2010-1-22 16:25
扩前片子很正色吗？个人以为应该不是偏磷酸

作者: juegai 时间: 2010-3-2 13:17
白色的点？周围有没有淡蓝色的花纹？

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