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标题: PECVD 沉积SiO2 和SiNX 对p!GaN 的影响 [打印本页]

作者: wanfer 时间: 2012-10-12 13:19
标题: PECVD 沉积SiO2 和SiNX 对p!GaN 的影响

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PECVD沉积SiO_2和SiN_X对p_GaN的影响.pdf

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