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[分享] 氢气退火对大直径直拉硅单晶中空洞型缺陷的影响

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发表于 2010-7-13 09:18:22 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
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氢气退火对大直径直拉硅单晶中空洞型缺陷的影响

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