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[技术分享] PECVD石墨舟工艺点

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发表于 2012-8-19 23:28:18 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
PECVD石墨舟,菱形工艺点,明显降低碎片率13785001821韩金刚

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