中国电科研制出300mm多线切割设备

2011-1-20 12:16| 发布者: admin| 查看: 680| 评论: 0|来自: PV-Tech

摘要: 近日，中国电子科技集团(以下简称中国电科)宣布，其所承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一获得突破，成功研制出300mm多线切割设备。切割设备是硅片生产中的关键，其中的12英寸 ...

近日，中国电子科技集团(以下简称中国电科)宣布，其所承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一获得突破，成功研制出300mm多线切割设备。切割设备是硅片生产中的关键，其中的12英寸多线切割机全部需要进口，此次中国电科研制的设备拥有自主产权，将会改变相关设备市场的现状。

中国电科的300mm多线切割机攻克了衡张力控制、工件台精密运动、切割均匀性及表面切割质量等关键技术难点，在断线、移动臂移动失位、钢丝带不进砂浆等问题上提供了很好的解决方案，可以一次性切割5000—6000片156mm×156mm的硅片。中国电科总经理王志刚表示，中国电科已经与国际大型太阳能硅片企业签订战略合作协议，共同进行多功位线据的研发，并将在2011年6月左右完成商业机型的生产工艺验收。在此前，中国电科45所曾研制出PXC-601型多线切割机。

中国电科成立于2002年，是一家从事于大型电子信息系统工程、重大装备、通信与电子设备、软件以及关键元器件研制生产的国有企业，其承担的国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”关系到光伏行业关键生产设备的开发。中国电科生产的高温烧结炉、制绒清洗机、等离子刻蚀机、去磷硅玻璃清洗、WY-216型精密视觉对位丝网印刷机、多功能分解组装操作台等获得了一些客户的亲睐，已经成为中国重要的光伏设备供应商。