杜邦高性能聚合物将具有成本效益的Zalak®5300密封件引进光伏晶硅和薄膜制造中

    7月13-15日在旧金山举行的北美国际太阳能展会上，杜邦高性能聚合物部门展示了用于光伏电池生产的杜邦™ Zalak® 5300高性能密封件。该产品的性能，介于普通氟橡胶（FKM）和全氟橡胶（FFKM）密封件之间。杜邦™ Zalak® 5300密封件特别适用于等离子环境，如边缘隔离、制造结晶型电池的ARC涂层、TCO溅射沉积、光伏电池生产中的某些a-Si PECVD应用。

    为了提高设备连续生产时间和产量，光伏制造商在生产过程中使用更强腐蚀性及更高反应效率的化学物，例如三氟化氮（NF3）和氧气（O2）等离子体，因此对设备的要求越来越高。在光伏电池制造中通常使用的密封材料如硅橡胶、氟硅橡胶和普通氟橡胶等，在腐蚀性强的环境里会快速降解，最终导致计划外的设备维修，这是密封材料不合适所引起的。

    杜邦全球市场经理Dave Lipnicke说：“电池制造商最不愿见到的情况，就是密封提前失效引致停机。我们的测试结果表明，Zalak® 5300在腐蚀性很强的等离子环境中，相对于普通氟橡胶或者硅橡胶具有较好的耐腐蚀性。如需更好的抗等离子腐蚀性能，我们的旗舰产品Kalrez® 9100，仍将被视为行业的标准。”（见图1）

    在某些制成中，当传统密封材料的耐腐蚀性能不足时，Zalak®密封件与Kalrez®全氟橡胶产品会成为经济的替代产品，除去具有卓越的耐等离子腐蚀性能外，Zalak® 5300密封件还具有以下优点：

    对于“干”法工艺中使用的化学品有良好的耐受性；

    卓越的永久压缩变形；

    低粘性

    很少产生颗粒

     对于静态和低密封强度要求的应用情况，例如反应室唇密封以及进气管密封 Zalak® 5300密封件是标准密封材料的升级换代产品。